CEOS SEMCOR Cs/Cc Korrektor

CEOS SEMCOR Cs/Cc Korrektor

Ceos SEMCOR Cs/Cc Korrektor

Der neue CEOS SEMCOR Cs/Cc Korrektor wurde für die Bildfehlerkompensation von e-beam Inspektionssystemen wie CD-SEMs oder low voltage SEMs bis 5 kV Beschleunigungsspannung entwickelt. Durch die Bildfehlerkompensation reduziert er den Durchmesser der Elektronenstrahlsonde um das 3x fache für die meisten Säulendesigns. Er eignet sich daher besonders für den Einsatz in Systemen der Halbleiterindustrie bei denen hochauflösende Bilder gefragt sind, wie z.B. in der Metrologie oder Inspektion und Qualitätssicherung von Photomasken und Wafern in der Chipproduktion. In seiner Anwendung ist dieser Korrektor sehr vielfältig und flexibel einsetzbar. Mit dem SEMCOR Cs/Cc Korrektor ist auch eine Erhöhung des Strahlstroms der Elektronensonde um das 10x fache in e-beam Inspektionssystemen möglich, bei gleichbleibendem Durchmesser der Elektronenstrahlsonde.

Weitere Informationen zum Funktionsprinzip des CEOS CS/Cc Korrektors finden sie in unserem White Paper: CEOS SEMCOR Cs/Cc aberration corrector for low voltage CD-SEM and its application in mask metrology.

Merkmale

  • Korrigiert alle Bildfehler bis zur 3. Ordung (Cs/Cc Korrektur).
  • Verkleinert den Durchmesser der Elektronenstrahlsonde um einen Fakor 3 für die meisten Säulendesigns. In der Regel begrenzt durch den Richtstrahlwert der Elektronenquelle.
  • Erhöht den Strahlstrom um den Faktor 10 bei gleich bleibendem Durchmesser der Elektronenstrahlsonde.
  • Anwendbar für e-beam Inspektionssysteme bis 5 kV z.B. CD-SEM, low voltage SEM für Metrologie-Anwendungen und industrielle Qualitätssicherung.

Technische Daten

  • Typische Verkleinerung Elektronenstrahldurchmesser verglichen zu unkorrigierten Geräten: 3x
  • Typische Erhöhung des Strahlstroms verglichen zu unkorrigierten Geräten mit gleichem Sondendurchmesser: 10x
  • Max. Beschleunigungsspannung: 5 kV
  • Druckbereich: Hochvakuum (10-5 – 10-7 mbar)

Anwendungsbereich

Anwendungen in der Metrologie und industriellen Qualitätsprüfung mit hochauflösenden Rasterelektronenmikroskopen für kritische Abmessungen (engl. CD-SEM) in der Halbleiterindustrie. Speziell geeignet für den Strukturgrößenbereich unterhalb des 7 nm und 5 nm Technologieknotens.

Produktverfügbarkeit und Referenz

Der CEOS SEMCOR Cs/Cc Korrektor ist aktuell verfügbar im mask CD-SEM "ZX" von HOLON Co., Ltd.

Kontakt

Haben Sie Fragen zu diesem Produkt oder zu Anwendbarkeit und Erweiterung für Ihr System, dann kontaktieren Sie uns unter info@ceos-gmbh.de

EUV Maske aberrations korrigiert and unkorrigiert

a) Cs / Cc korrigiertes und b) unkorrigiertes CD-SEM Bild einer EUV Maske mit Loch Muster bei 1,5 kV Auftreffenergie und 20 pA Strahlstrom. (Bild aufgenommen von HOLON Co., Ltd.)

Goldpartikel auf Kohlenstoff aberrations korrigiert und unkorrigiert

a) Cs / Cc korrigiertes und b) unkorrigiertes CD-SEM Bild von Goldpartikeln auf Kohlefilm bei 1,5 keV Auftreffenergie und 20 pA Strahlstrom. (Bild aufgenommen von HOLON Co., Ltd.)